Богачов Юрій Юрійович
Вологочутливий сенсор на польовому транзисторі
Номер патенту: 60003
Опубліковано: 10.06.2011
Автори: Осадчук Олександр Володимирович, Крилик Людмила Вікторівна, Савицький Антон Юрійович, Звягін Олександр Сергійович, Богачов Юрій Юрійович
МПК: G01N 21/53
Мітки: польовому, транзисторі, сенсор, вологочутливий
Формула / Реферат:
Вологочутливий сенсор на польовому транзисторі, який складається з першої вологочутливої плівки та приєднаного до неї польового транзистора, що складається з напівпровідникової підкладки, яка містить першу область витоку і першу область стоку, а також провідні електродні плівки, підзатворний діелектрик та перший ізолюючий плівковий затвор, до протилежної поверхні першої вологочутливої плівки приєднаний перший керувальний електрод, який...