Бойко Тарас Георгійович
Спосіб виготовлення твердого планарного джерела для дифузії фосфору
Номер патенту: 19507
Опубліковано: 25.12.1997
Автори: Бойко Тарас Георгійович, Гасько Любомир Захарович, Богдановський Юрій Миколайович
МПК: H01L 21/22
Мітки: джерела, планарного, дифузії, виготовлення, спосіб, фосфору, твердого
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення твердого планарного джерела для дифузії фосфору, що включає нанесення шару дифузанту, в склад якого входить порошок полікристалічного метафосфату алюмінію, на кремнієву пластину і наступне відпалювання пластини з нанесеним шаром дифузанту, який відрізняється тим, що до порошку метафосфату алюмінію додають 20-80 мас.% порошку ультрафосфату лантану, а підпалювання пластин з нанесеним шаром дифузанту проводять при температурі...