Богдановський Юрій Миколайович

Номер патенту: 19507

Опубліковано: 25.12.1997

Автори: Бойко Тарас Георгійович, Богдановський Юрій Миколайович, Гасько Любомир Захарович

МПК: H01L 21/22

Мітки: твердого, планарного, дифузії, фосфору, джерела, спосіб, виготовлення

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення твердого планарного джерела для дифузії фосфору, що включає нанесення шару дифузанту, в склад якого входить порошок полікристалічного метафосфату алюмінію, на кремнієву пластину і наступне відпалювання пластини з нанесеним шаром дифузанту, який відрізняється тим, що до порошку метафосфату алюмінію додають 20-80 мас.% порошку ультрафосфату лантану, а підпалювання пластин з нанесеним шаром дифузанту проводять при температурі...

Номер патенту: 13520

Опубліковано: 25.04.1997

Автори: Сарапін Ярослав Миколайович, Воронін Валерій Олександрович, Саваневський Володимир Григорович, Богдановський Юрій Миколайович, Гасько Любомир Захарович, Бідник Дмитро Ілліч

МПК: H01L 21/225

Мітки: джерел, планарних, спосіб, виготовлення, дифузії, твердих, фосфора

Формула / Реферат:

Способ изготовления твердых планарных ис­точников для диффузии фосфора, включающий нанесение порошка диффузанта на основе метафосфата алюминия на кремниевые подложки и спекание при температуре 1050-1110°С, отличаю­щийся тем, что, с целью повышения стойкости ис­точников к термоударам во время ввода кассеты с источниками в диффузионную печь, порошок диф­фузанта дополнительно содержит окись лантана в количестве 0,5-5 мас. %.