Гасько Любомир Захарович

Спосіб виготовлення твердого планарного джерела для дифузії фосфору

Завантаження...

Номер патенту: 19507

Опубліковано: 25.12.1997

Автори: Бойко Тарас Георгійович, Гасько Любомир Захарович, Богдановський Юрій Миколайович

МПК: H01L 21/22

Мітки: твердого, фосфору, спосіб, джерела, дифузії, планарного, виготовлення

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення твердого планарного джерела для дифузії фосфору, що включає нанесення шару дифузанту, в склад якого входить порошок полікристалічного метафосфату алюмінію, на кремнієву пластину і наступне відпалювання пластини з нанесеним шаром дифузанту, який відрізняється тим, що до порошку метафосфату алюмінію додають 20-80 мас.% порошку ультрафосфату лантану, а підпалювання пластин з нанесеним шаром дифузанту проводять при температурі...

Спосіб виготовлення твердих планарних джерел для дифузії фосфора

Завантаження...

Номер патенту: 13520

Опубліковано: 25.04.1997

Автори: Бідник Дмитро Ілліч, Сарапін Ярослав Миколайович, Воронін Валерій Олександрович, Саваневський Володимир Григорович, Гасько Любомир Захарович, Богдановський Юрій Миколайович

МПК: H01L 21/225

Мітки: планарних, твердих, спосіб, виготовлення, джерел, дифузії, фосфора

Формула / Реферат:

Способ изготовления твердых планарных ис­точников для диффузии фосфора, включающий нанесение порошка диффузанта на основе метафосфата алюминия на кремниевые подложки и спекание при температуре 1050-1110°С, отличаю­щийся тем, что, с целью повышения стойкости ис­точников к термоударам во время ввода кассеты с источниками в диффузионную печь, порошок диф­фузанта дополнительно содержит окись лантана в количестве 0,5-5 мас. %.