Гасько Любомир Захарович
Спосіб виготовлення твердого планарного джерела для дифузії фосфору
Номер патенту: 19507
Опубліковано: 25.12.1997
Автори: Бойко Тарас Георгійович, Гасько Любомир Захарович, Богдановський Юрій Миколайович
МПК: H01L 21/22
Мітки: твердого, фосфору, спосіб, джерела, дифузії, планарного, виготовлення
Формула / Реферат:
Спосіб виготовлення твердого планарного джерела для дифузії фосфору, що включає нанесення шару дифузанту, в склад якого входить порошок полікристалічного метафосфату алюмінію, на кремнієву пластину і наступне відпалювання пластини з нанесеним шаром дифузанту, який відрізняється тим, що до порошку метафосфату алюмінію додають 20-80 мас.% порошку ультрафосфату лантану, а підпалювання пластин з нанесеним шаром дифузанту проводять при температурі...
Спосіб виготовлення твердих планарних джерел для дифузії фосфора
Номер патенту: 13520
Опубліковано: 25.04.1997
Автори: Бідник Дмитро Ілліч, Сарапін Ярослав Миколайович, Воронін Валерій Олександрович, Саваневський Володимир Григорович, Гасько Любомир Захарович, Богдановський Юрій Миколайович
МПК: H01L 21/225
Мітки: планарних, твердих, спосіб, виготовлення, джерел, дифузії, фосфора
Формула / Реферат:
Способ изготовления твердых планарных источников для диффузии фосфора, включающий нанесение порошка диффузанта на основе метафосфата алюминия на кремниевые подложки и спекание при температуре 1050-1110°С, отличающийся тем, что, с целью повышения стойкости источников к термоударам во время ввода кассеты с источниками в диффузионную печь, порошок диффузанта дополнительно содержит окись лантана в количестве 0,5-5 мас. %.