Цьолковський Теодозій Іванович
Спосіб одержання плівок окису цинку
Номер патенту: 5592
Опубліковано: 28.12.1994
Автори: Бірковий Юрій Леонідович, Гутор Іван Максимович, Гаврилів Анна Петрівна, Ван-Чин-Сян Юрій Якович, Кочубей Віталій Феодосійович, Цьолковський Теодозій Іванович
МПК: C23C 16/18
Мітки: цинку, плівок, спосіб, окису, одержання
Формула / Реферат:
(57) Способ получения пленок окиси цинка термическим разложениемалкилпроизводных цинка на подложке в присутствии окислителя, отличающийся тем, что в качестве алкилпроизводных цинка и окислителя берут соответственно диметилцинк или диэтилцинк и водород-кислородную смесь и процесс ведут при давлении паров 60-80мм рт. ст., температуре подложки 20-50°С в режиме горения водород-кислородной смеси.