Гаврилів Анна Петрівна

Номер патенту: 5592

Опубліковано: 28.12.1994

Автори: Цьолковський Теодозій Іванович, Бірковий Юрій Леонідович, Ван-Чин-Сян Юрій Якович, Гутор Іван Максимович, Гаврилів Анна Петрівна, Кочубей Віталій Феодосійович

МПК: C23C 16/18

Мітки: одержання, окису, плівок, цинку, спосіб

Формула / Реферат:

(57) Способ получения пленок окиси цинка термическим разложениемалкилпроизводных цинка на подложке в присутствии окислителя, отличающийся тем, что в качестве алкилпроизводных цинка и окислителя берут соответственно диметилцинк или диэтилцинк и водород-кислородную смесь и процесс ведут при давлении паров 60-80мм рт. ст., температуре подложки 20-50°С в режиме горения водород-кислородной смеси.

Номер патенту: 4495

Опубліковано: 27.12.1994

Автори: Гаврилів Анна Петрівна, Мамаєв Олег Георгійович, Чурик Дмитро Прокопович, Зорін Аркадій Данилович, Хотимченко Володимир Савович, Паздерський Юрій Антонович, Кочубей Віталій Феодосійович, Ластовецький Мировлав Михайлович

МПК: C01B 33/00, C01B 37/00

Мітки: одержання, спосіб, кремнію, двоокису

Формула / Реферат:

1. Способ получения двуокиси кремния путем окисления в газовой фазе хлорида кремния в кислородном пламени, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения процесса, а также повышения степени чистоты и удельной поверхности целевого пр дукта, в качестве хлорида кремния используют гексахлордисилан. 2. Способ по п. 1, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что процесс ведут при температуре 250-1000°С.