ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА

Номер патенту: 9700

Опубліковано: 17.10.2005

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА

МПК: H01L 21/302

Мітки: визначення, плазмового, процесу, закінчення, травлення, пристрій, моменту

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично зв'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фотодіод, резистор, біполярний та польовий транзистори,...

Номер патенту: 9698

Опубліковано: 17.10.2005

Автори: ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/302

Мітки: пристрій, визначення, травлення, процесу, закінчення, плазмового, моменту

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить лазер як джерело світла, конденсор, поворотне дзеркало, діафрагму та плазмовий реактор з пластинками (зразками), що підлягають обробці, і оптичним вікном для вводу і виводу оптичного випромінювання, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність,...

Номер патенту: 4229

Опубліковано: 17.01.2005

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА

МПК: H01L 21/302

Мітки: плазмового, процесу, визначення, закінчення, травлення, пристрій, моменту

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично пов'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фоторезистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги, причому перший полюс першого джерела постійної напруги підключений до бази біполярного транзистора, емітер якого...

Номер патенту: 4413

Опубліковано: 17.01.2005

Автори: ДАНИЛЕНКО ОЛЕНА ОЛЕКСАНДРІВНА, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/302

Мітки: травлення, визначення, моменту, пристрій, закінчення, плазмового, процесу

Формула / Реферат:

Пристрій для визначення моменту закінчення процесу плазмового травлення, що містить вузькосмуговий інтерференційний фільтр, який оптично зв'язаний з фотоперетворювачем, який відрізняється тим, що фотоперетворювач містить фотодіод, резистор, біполярний та польовий транзистори, індуктивність, ємність і два джерела постійної напруги, причому перший полюс першого джерела постійної напруги підключений до бази біполярного транзистора, емітер якого...