Дем’яненко-Мамонова Вікторія Олександрівна
Спосіб отримання сонячних елементів на пористому кремнію
Номер патенту: 85399
Опубліковано: 25.11.2013
Автори: Кідалов Валерій Віталійович, Хрипко Сергій Леонідович, Дем'яненко-Мамонова Вікторія Олександрівна
МПК: H01L 31/00
Мітки: кремнію, сонячних, пористому, отримання, спосіб, елементів
Формула / Реферат:
Спосіб отримання сонячних елементів на пористому кремнію методом фотолітографії, який відрізняється тим, що технологічний процес включає формування на підкладці кремнію n-типу провідності суцільного шару n-типу провідності, легованого сурмою, нарощування епітаксійного шару n-типу товщиною 0,2-0,5 мкм, формування маскуючого шару нітриду кремнію, створення в маскуючому шарі методом фотолітографії рисунка монокристалічних областей,...