Доброжан Олександр Анатолійович
Спосіб нанесення полікристалічних плівок багатокомпонентних сполук cu2(m11)(m1v)(s,se)4 (m11: mn, fe, co, ni, zn, cd, hg; m1v: si, ge, sn) методом пульсуючого спрей-піролізу
Номер патенту: 115891
Опубліковано: 25.04.2017
Автори: Курбатов Денис Ігоревич, Доброжан Олександр Анатолійович, Опанасюк Анатолій Сергійович
МПК: C23C 14/00, H01L 33/00
Мітки: m11, сполук, багатокомпонентних, полікристалічних, плівок, спосіб, методом, пульсуючого, нанесення, cu2(m11)(m1v)(s,se)4, спрей-піролізу
Формула / Реферат:
Спосіб нанесення полікристалічних плівок багатокомпонентних сполук Cu2(MII)(MIV)(S, Se)4 (МII: Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Cd, Hg; MIV: Si, Ge, Sn) методом пульсуючого спрей-піролізу, що включає розпилення початкового прекурсору, який містить розчин хлоридів (MII.IVmCln) або ацетатів (MII,IVm(CH2COOH)n) металів та тіомочевини (SC(NH2)2) на поверхню нагрітої підкладки з наступним формуванням відповідної плівки, який відрізняється тим, що розпилення...