Опанасюк Анатолій Сергійович
Спосіб отримання тонкоплівкових гетероперехідних (гп) структур n-sns2/p-sns методом лазерного опромінення вихідного матеріалу sns2
Номер патенту: 116965
Опубліковано: 12.06.2017
Автори: Косяк Володимир Володимирович, Возний Андрій Андрійович, Опанасюк Анатолій Сергійович
МПК: H01L 29/00
Мітки: тонкоплівкових, структур, отримання, вихідного, гетероперехідних, г.п, матеріалу, методом, опромінення, спосіб, лазерного
Формула / Реферат:
Спосіб отримання тонкоплівкових гетероперехідних структур n-SnS2/p-SnS, що включає вирощування шару дисульфіду олова (SnS2) з n-типом провідності шляхом термічного випаровування на підкладку вихідного матеріалу SnS2 у квазізамкненому об'ємі (КЗО), який відрізняється тим, що на поверхні одержаного шару SnS2 з n-типом провідності додатково формують однорідний за площею шар сульфіду олова (SnS) з p-типом провідності шляхом лазерного опромінення...
Спосіб нанесення полікристалічних плівок багатокомпонентних сполук cu2(m11)(m1v)(s,se)4 (m11: mn, fe, co, ni, zn, cd, hg; m1v: si, ge, sn) методом пульсуючого спрей-піролізу
Номер патенту: 115891
Опубліковано: 25.04.2017
Автори: Опанасюк Анатолій Сергійович, Доброжан Олександр Анатолійович, Курбатов Денис Ігоревич
МПК: C23C 14/00, H01L 33/00
Мітки: методом, нанесення, спрей-піролізу, сполук, пульсуючого, спосіб, плівок, полікристалічних, cu2(m11)(m1v)(s,se)4, багатокомпонентних, m11
Формула / Реферат:
Спосіб нанесення полікристалічних плівок багатокомпонентних сполук Cu2(MII)(MIV)(S, Se)4 (МII: Mn, Fe, Co, Ni, Zn, Cd, Hg; MIV: Si, Ge, Sn) методом пульсуючого спрей-піролізу, що включає розпилення початкового прекурсору, який містить розчин хлоридів (MII.IVmCln) або ацетатів (MII,IVm(CH2COOH)n) металів та тіомочевини (SC(NH2)2) на поверхню нагрітої підкладки з наступним формуванням відповідної плівки, який відрізняється тим, що розпилення...
Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідників та їх твердих розчинів безвакуумним методом
Номер патенту: 114980
Опубліковано: 27.03.2017
Автори: Д'яченко Олексій Вікторович, Курбатов Денис Ігорович, Опанасюк Анатолій Сергійович
МПК: B05B 5/00
Мітки: методом, плівок, пристрій, розчинів, напівпровідників, безвакуумним, нанесення, твердих, автоматизований
Формула / Реферат:
Автоматизований пристрій для нанесення плівок напівпровідників та їх твердих розчинів безвакуумним методом, що містить камеру розпилювання, систему нагріву підкладки та систему розпилення з форсункою, який відрізняється тим, що камера розпилювання виконана герметичною і до неї приєднані газовий балон, блок керування та датчик газу з клапаном, що встановлений у вентиляційний отвір, а всередині металевої камери встановлена система нагріву...
Спосіб отримання шарів mgo методом спрей-піролізу
Номер патенту: 113142
Опубліковано: 10.01.2017
Автори: Д'яченко Олексій Вікторович, Курбатов Денис Ігорович, Опанасюк Анатолій Сергійович
МПК: B05D 5/12
Мітки: отримання, шарів, спосіб, методом, спрей-піролізу
Формула / Реферат:
Спосіб отримання шарів MgO методом спрей-піролізу, який включає виготовлення розчину прекурсору, розпилення його на поверхні нагрітої підкладки, піроліз розчину з утворенням покриття з оксиду металу на підкладці, який відрізняється тим, що як прекурсор використовують водний розчин хлориду магнію (MgCl2·4H2O), а розпилення відбувається імпульсно в герметизованій металевій камері з надлишковим тиском інертного газу.