Дьошин Борис Вікторович
Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі
Номер патенту: 37359
Опубліковано: 25.11.2008
Автори: Дьошин Борис Вікторович, Мокренко Олександр Анатолійович, Космінська Юлія Олександрівна, Перекрестов В'ячеслав Іванович
МПК: C23C 14/35
Мітки: покриттів, нанесення, вакуумі, пристрій
Формула / Реферат:
Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить розпилюваний катод, співвісно якому розміщений анод, що складається з герметичного корпусу у вигляді пустотілого циліндра, нижня частина якого виконана у вигляді зрізаного конуса з розташованою в ньому односекційною водоохолоджувальною магнітною системою із постійного магніту, до торця циліндричного постійного магніту приєднаний, у вигляді зрізаного конуса, фокусуючий магнітопровід, і в...