Мокренко Олександр Анатолійович
Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки
Номер патенту: 92525
Опубліковано: 10.11.2010
Автори: Космінська Юлія Олександрівна, Мокренко Олександр Анатолійович, Перекрестов В'ячеслав Іванович
МПК: H01J 27/02, C23C 14/24, C23C 14/35 ...
Мітки: нанесення, слабколетких, речовин, підкладки, пристрій, вакуумі, покриттів, розпилювальний, надпоруватих, металів, плоскі
Формула / Реферат:
1. Розпилювальний пристрій для нанесення у вакуумі надпоруватих покриттів з металів або слабколетких речовин на плоскі підкладки, що містить анод та катод у вигляді пустотілого зрізаного конуса з отвором, зверненим до анода, зрізаний конус катода закріплений на основі, що з'єднана з охолоджуваним тримачем, і всередині пустотілого зрізаного конуса, в нижній його частині, розташована підкладка, поблизу поверхні якої розміщена заслінка, для...
Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі
Номер патенту: 37359
Опубліковано: 25.11.2008
Автори: Мокренко Олександр Анатолійович, Космінська Юлія Олександрівна, Дьошин Борис Вікторович, Перекрестов В'ячеслав Іванович
МПК: C23C 14/35
Мітки: вакуумі, пристрій, покриттів, нанесення
Формула / Реферат:
Пристрій для нанесення покриттів у вакуумі, що містить розпилюваний катод, співвісно якому розміщений анод, що складається з герметичного корпусу у вигляді пустотілого циліндра, нижня частина якого виконана у вигляді зрізаного конуса з розташованою в ньому односекційною водоохолоджувальною магнітною системою із постійного магніту, до торця циліндричного постійного магніту приєднаний, у вигляді зрізаного конуса, фокусуючий магнітопровід, і в...