Дятлов Михайло Іларіонович
Спосіб одержання карбіду кремнію
Номер патенту: 18655
Опубліковано: 25.12.1997
Автори: Кирнос Олег Яковлевич, Лахно Григорій Семенович, Шурик Сергій Володимирович, Улинська Світлана Миколаївна, Дятлов Михайло Іларіонович, Ткачов Олег Миколайович
МПК: C01B 31/36, C01B 31/30
Мітки: одержання, карбіду, спосіб, кремнію
Формула / Реферат:
Способ получения карбида кремния, включающий воздействие на смесь кварцевого песка и кокса направленного потока заряженных частиц, отличающийся тем, что смесь кварцевого песка и кокса непрерывно подают на подложку слоем 0,5 - 2,0мм, и воздействуют на указанную смесь сканирующим потоком электронов с энергией 0,8 - 1,5МэВ, в течение времени, определяемого по формулегде - удельное время экспонирования, с × см-2; -...