Джаніауд Деніс

Номер патенту: 42849

Опубліковано: 15.11.2001

Автори: Траон Олівер Ле, Джаніауд Деніс, Мюллєр Серж

МПК: H01L 29/84, G01P 15/08

Мітки: монолітний, прискорення, акселерометр, датчик

Формула / Реферат:

1. Монолітний датчик прискорення, що складається з нерухомої частини, рухомої масивної частини та резонатора, одна з двох кінцевих частин якого з'єднана з рухомою масивною частиною, який відрізняється тим, що він включає другу рухому масивну частину, з'єднану з іншою кінцевою частиною резонатора, гнучку раму, що оточує дві рухомі масивні частини, перший сполучний елемент, що з'єднує раму з другою рухомою масивною частиною, та другий сполучний...