Федорчук Олена Михайлівна
Спосіб управління іонно-плазмовим напиленням тонких плівок у вакуумі
Номер патенту: 55780
Опубліковано: 27.12.2010
Автори: Куник Юрій Олександрович, Федорчук Олена Михайлівна
МПК: C23C 14/32
Мітки: тонких, іонно-плазмовим, спосіб, напиленням, плівок, вакуумі, управління
Формула / Реферат:
Спосіб управління іонно-плазмовим напиленням тонких плівок у вакуумі, що включає підбір пробних значень вхідних параметрів, що регулюються, зокрема струму розряду дуги, струму зовнішнього магнітного поля та потенціалу підкладки, за допомогою яких здійснюють пробне напилення та вимірюють залежність температури від часу, після чого визначають стаціонарне значення температури напилення та за допомогою блока управління контролюють вихідні...