Куник Юрій Олександрович
Спосіб управління іонно-плазмовим напиленням тонких плівок у вакуумі
Номер патенту: 55780
Опубліковано: 27.12.2010
Автори: Федорчук Олена Михайлівна, Куник Юрій Олександрович
МПК: C23C 14/32
Мітки: напиленням, вакуумі, тонких, іонно-плазмовим, плівок, управління, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб управління іонно-плазмовим напиленням тонких плівок у вакуумі, що включає підбір пробних значень вхідних параметрів, що регулюються, зокрема струму розряду дуги, струму зовнішнього магнітного поля та потенціалу підкладки, за допомогою яких здійснюють пробне напилення та вимірюють залежність температури від часу, після чого визначають стаціонарне значення температури напилення та за допомогою блока управління контролюють вихідні...