Фокін Олександр Владиславович
Спосіб одержання тонких плівок напівпровідникового оксидного скла
Номер патенту: 33440
Опубліковано: 15.02.2001
Автори: Новіков Олександр Олександрович, Вороненко Олександр Викторович, Фокін Олександр Владиславович, Новікова Лідія Володимирівна
МПК: C03C 17/02
Мітки: скла, напівпровідникового, тонких, оксидного, плівок, спосіб, одержання
Текст:
...імпульсами. Недоліками відомого способу є недостатня однорідність скляної плівки, при цьому спосіб дорогий (енергоємний). В основу цього винаходу була покладена задача створення способу одержання тонких плівок оксидного напівпровідникового скла, при якому з'явилася б можливість зменшити неоднорідність скляної плівки при зниженні енерговитрат. Це досягається тим, що в засобі одержання тонких плівок напівпровідникового оксидного скла...