Форш Павєл Анатольєвіч
Спосіб отримання наноструктурованих плівок аморфного кремнію для сонячних елементів
Номер патенту: 72667
Опубліковано: 27.08.2012
Автори: Форш Павєл Анатольєвіч, Ларкін Сергій Юрійович, Новіков Євген Іванович
МПК: H01L 31/00, H01L 21/00, C23C 16/00 ...
Мітки: плівок, сонячних, кремнію, наноструктурованих, отримання, аморфного, спосіб, елементів
Формула / Реферат:
Спосіб отримання наноструктурованих плівок аморфного кремнію для сонячних елементів, що включає осадження кремнію на підкладку із газової фази, який відрізняється тим, що плівки аморфного кремнію освітлюють випромінюванням фемтосекундного лазера на основі калій-гадолінієвого вольфрамату ітербію або титан-сапфіру.