G01R 15/20 — з використанням гальваномагнітних приладів, наприклад приладів, дія яких заснована на Хол-ефекті

Спосіб отримання магніточутливого мікросенсора

Завантаження...

Номер патенту: 118459

Опубліковано: 10.08.2017

Автори: Луньов Сергій Валентинович, Хвищун Микола В'ячеславович, Маслюк Володимир Трохимович, Зімич Андрій Іванович

МПК: C30B 33/02, C30B 33/04, C30B 15/00 ...

Мітки: отримання, спосіб, мікросенсора, магніточутливого

Формула / Реферат:

Спосіб отримання магніточутливого мікросенсора, що включає одержання напівпровідникового домішкового монокристалу, піддавання його ізотермічному відпалу та з'єднання після охолодження до кімнатної температури з двома парами контактів, який відрізняється тим, що домішковий монокристал виготовляють з речовини n-типу провідності, та додатково опромінюють його потоком високоенергетичних електронів, а ізотермічний відпал здійснюють після...