G01R 15/20 — з використанням гальваномагнітних приладів, наприклад приладів, дія яких заснована на Хол-ефекті
Спосіб отримання магніточутливого мікросенсора
Номер патенту: 118459
Опубліковано: 10.08.2017
Автори: Луньов Сергій Валентинович, Хвищун Микола В'ячеславович, Маслюк Володимир Трохимович, Зімич Андрій Іванович
МПК: C30B 33/02, C30B 33/04, C30B 15/00 ...
Мітки: отримання, спосіб, мікросенсора, магніточутливого
Формула / Реферат:
Спосіб отримання магніточутливого мікросенсора, що включає одержання напівпровідникового домішкового монокристалу, піддавання його ізотермічному відпалу та з'єднання після охолодження до кімнатної температури з двома парами контактів, який відрізняється тим, що домішковий монокристал виготовляють з речовини n-типу провідності, та додатково опромінюють його потоком високоенергетичних електронів, а ізотермічний відпал здійснюють після...