Галуза Олексій Анатолійович
Квазіоптичний багатокутовий терагерцевий еліпсометр
Номер патенту: 112441
Опубліковано: 12.09.2016
Автори: Кулешов Євген Митрофанович, Мізрахі Сергій Вікторович, Кісельов Володимир Костянтинович, Галуза Олексій Анатолійович, Коленов Іван Вікторович, Серебрянский Сергій Юрійович
МПК: G01J 4/00, G01N 21/21
Мітки: терагерцевий, багатокутовий, еліпсометр, квазіоптичний
Формула / Реферат:
Квазіоптичний багатокутовий терагерцевий еліпсометр, що містить джерело терагерцевого випромінювання, перший хвилевідно-променеводний перехід, амплітудний модулятор, лінійний поляризатор, перший обертач площини поляризації, гоніометр із зафіксованим всередині нього предметним столиком, другий обертач площини поляризації, аналізатор, другий хвилевідно-променеводний перехід і приймач випромінювання, який відрізняється тим, що в нього додатково...