Серебрянский Сергій Юрійович
Квазіоптичний багатокутовий терагерцевий еліпсометр
Номер патенту: 112441
Опубліковано: 12.09.2016
Автори: Коленов Іван Вікторович, Мізрахі Сергій Вікторович, Кулешов Євген Митрофанович, Серебрянский Сергій Юрійович, Галуза Олексій Анатолійович, Кісельов Володимир Костянтинович
МПК: G01J 4/00, G01N 21/21
Мітки: еліпсометр, терагерцевий, квазіоптичний, багатокутовий
Формула / Реферат:
Квазіоптичний багатокутовий терагерцевий еліпсометр, що містить джерело терагерцевого випромінювання, перший хвилевідно-променеводний перехід, амплітудний модулятор, лінійний поляризатор, перший обертач площини поляризації, гоніометр із зафіксованим всередині нього предметним столиком, другий обертач площини поляризації, аналізатор, другий хвилевідно-променеводний перехід і приймач випромінювання, який відрізняється тим, що в нього додатково...