Коленов Іван Вікторович
Квазіоптичний багатокутовий терагерцевий еліпсометр
Номер патенту: 112441
Опубліковано: 12.09.2016
Автори: Коленов Іван Вікторович, Кулешов Євген Митрофанович, Серебрянский Сергій Юрійович, Галуза Олексій Анатолійович, Кісельов Володимир Костянтинович, Мізрахі Сергій Вікторович
МПК: G01N 21/21, G01J 4/00
Мітки: квазіоптичний, еліпсометр, терагерцевий, багатокутовий
Формула / Реферат:
Квазіоптичний багатокутовий терагерцевий еліпсометр, що містить джерело терагерцевого випромінювання, перший хвилевідно-променеводний перехід, амплітудний модулятор, лінійний поляризатор, перший обертач площини поляризації, гоніометр із зафіксованим всередині нього предметним столиком, другий обертач площини поляризації, аналізатор, другий хвилевідно-променеводний перехід і приймач випромінювання, який відрізняється тим, що в нього додатково...