Гармаш Ян Яковлевич
Лінія для рідинної хімічної обробки плоских виробів переважно напівпровідникових пластин
Номер патенту: 9307
Опубліковано: 30.09.1996
Автори: Тетерьвов Валерій Іванович, Гармаш Ян Яковлевич, Нехамкін Михайло Юхимович, Самойленко Лідія Олександрівна
МПК: H05K 3/06
Мітки: виробів, плоских, обробки, пластин, рідинної, лінія, напівпровідникових, хімічної, переважно
Формула / Реферат:
1. Линия для жидкостной химической обработки плоских изделий, преимущественно полупроводниковых пластин, содержащая каркас, последовательно установленные рабочие ванны, поворотные носители изделий с вертикальным размещением посадочных гнезд для изделий, средства перемещения носителей и средства их вращения в виде валков, горизонтально установленных под носителями в ваннах, приводы валков, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества...