Нехамкін Михайло Юхимович
Лінія для рідинної хімічної обробки плоских виробів переважно напівпровідникових пластин
Номер патенту: 9307
Опубліковано: 30.09.1996
Автори: Гармаш Ян Яковлевич, Самойленко Лідія Олександрівна, Тетерьвов Валерій Іванович, Нехамкін Михайло Юхимович
МПК: H05K 3/06
Мітки: обробки, хімічної, виробів, рідинної, напівпровідникових, переважно, пластин, плоских, лінія
Формула / Реферат:
1. Линия для жидкостной химической обработки плоских изделий, преимущественно полупроводниковых пластин, содержащая каркас, последовательно установленные рабочие ванны, поворотные носители изделий с вертикальным размещением посадочных гнезд для изделий, средства перемещения носителей и средства их вращения в виде валков, горизонтально установленных под носителями в ваннах, приводы валков, отличающаяся тем, что, с целью повышения качества...