Грищишин Юрій Володимирович
Спосіб виготовлення реєструючої мішені на основі діоксиду ванадію
Номер патенту: 22462
Опубліковано: 03.03.1998
Автори: Савчин Володимир Павлович, Стахіра Йосип Михайлович, Грищишин Юрій Володимирович, Фоменко Вячеслав Леонтійович
МПК: H01J 29/00, G02F 1/01
Мітки: виготовлення, ванадію, реєструючої, спосіб, діоксиду, мішені, основі
Формула / Реферат:
1. Спосіб виготовлення реєструючої мішені на основі діоксиду ванадію, що включає нанесення ванадію, його термоокислення та утворення захисної плівки, який відрізняється тим, що захисну плівку формують шляхом нанесення АІ та його окислення при температурі 150-300°С.2.· Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що захисну плівку АІ2Оз формують у вакуумі.