Гурошев Вячеслав Іванович

Номер патенту: 13397

Опубліковано: 28.02.1997

Автори: Буненко Андрій Іванович, Шевелев Михайло Володимирович, Скляревич Владислав Юхимович, Гурошев Вячеслав Іванович

МПК: H01L 21/268

Мітки: напівпровідникових, спосіб, матеріалів, обробки

Формула / Реферат:

1. Способ обработки полупроводниковых ма­териалов, состоящий в том, что на поверхности или в объеме этого материала создают атомы (ионы) примеси, а затем облучают указанные материалы электромагнитным излучением, отличающийся тем, что облучение осуществляют электроманитным излучением с частотой, равной резонансной частоте собственных колебаний атомов (ионов) примеси в материале полупроводника в диапазоне частот 30-150 Ггц, причем...