Гузь Володимир Миколайович

Номер патенту: 18307

Опубліковано: 25.12.1997

Автори: Козловський Сергій Іванович, Жадько Іван Павлович, Романов Валентин Олександрович, Гузь Володимир Миколайович, Зайцев Віктор Андрійович, Бабічев Геннадій Григорович

МПК: G01L 9/04

Мітки: тиску, перетворювач, інтегральній

Формула / Реферат:

1. Интегральный преобразователь давления, содержащий выполненную заодно целое с оправой профилированную с одной стороны кремниевую мембрану, с жесткой центральной частью в виде островка, а также тензоэлемент, расположенный на плоской стороне мембраны, напротив долины, отделяющей оправу мембраны от островка, отличающийся тем, что мембрана ориентирована в кристаллографической плоскости (100) и зеркально симметрична относительно каждой из двух...

Номер патенту: 3054

Опубліковано: 26.12.1994

Автори: Бабічев Геннадій Григорович, Козловський Сергій Іванович, Романов Валентин Олександрович, Гузь Володимир Миколайович, Жадько Іван Павлович

МПК: G01L 9/04

Мітки: інтегральній, тиску, перетворювач

Формула / Реферат:

1. Интегральный преобразователь давления, содержащий выполненную за одно целое с основанием кремниевую мембрану, ориентированную в плоскости [100], и расположенный на ее планарной поверхности интегральный тензотранзистор, в котором эмиттер расположен внутри базовой области, тип проводимости которой отличен от типа проводимости материала мембраны, отличающийся тем, что на краях базовой области однотипным с ней легированием сформированы, по...