Зайцев Віктор Андрійович
Інтегральний перетворювач тиску
Номер патенту: 18307
Опубліковано: 25.12.1997
Автори: Романов Валентин Олександрович, Козловський Сергій Іванович, Гузь Володимир Миколайович, Жадько Іван Павлович, Зайцев Віктор Андрійович, Бабічев Геннадій Григорович
МПК: G01L 9/04
Мітки: інтегральній, перетворювач, тиску
Формула / Реферат:
1. Интегральный преобразователь давления, содержащий выполненную заодно целое с оправой профилированную с одной стороны кремниевую мембрану, с жесткой центральной частью в виде островка, а также тензоэлемент, расположенный на плоской стороне мембраны, напротив долины, отделяющей оправу мембраны от островка, отличающийся тем, что мембрана ориентирована в кристаллографической плоскости (100) и зеркально симметрична относительно каждой из двух...