Кабін Євген Олександрович
Трубний пристрій магнетронного розпилення матеріалів
Номер патенту: 104556
Опубліковано: 10.02.2014
Автори: Кабін Євген Олександрович, Казіміров Микола Миколайович
МПК: C23C 14/00
Мітки: магнетронного, пристрій, розпилення, матеріалів, трубний
Формула / Реферат:
1. Протяжний пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить охолоджувану зсередини мішень з замкненою в ланцюг розпилюваною поверхнею, розміщеною між оберненими до цієї поверхні протилежними полюсами Ш-подібної магнітної системи, що розташовані на верхній поверхні периферійної і центральної стінок магнітопроводу, причому магнітні полюси на довгих периферійних стінках магнітопроводу нахилені до мішені ззовні її, який відрізняється...
Пристрій магнетронного розпилення матеріалів
Номер патенту: 104555
Опубліковано: 10.02.2014
Автори: Кабін Євген Олександрович, Казіміров Микола Миколайович
МПК: C23C 14/00
Мітки: розпилення, магнетронного, пристрій, матеріалів
Формула / Реферат:
1. Пристрій магнетронного розпилення матеріалів, що містить магнітну систему, яка складається з установлених з зазором один відносно одного щонайменше чотирьох елементів, щонайменше три з яких є постійними магнітами, а зовнішній магнітом'який магнітопровід виконаний в вигляді периферійної стінки, мішень з замкненою в ланцюги розпилюваною поверхнею, розміщеною між оберненими до цієї поверхні протилежними полюсами магнітів і магнітопроводу,...