Калинюк Михайло Васильович
Спосіб отримання тонких плівок pbte методом гарячої стінки
Номер патенту: 35210
Опубліковано: 15.03.2001
Автори: Калинюк Михайло Васильович, Фреїк Дмитро Михайлович, Варшава Славомир Степанович, Запухляк Руслан Ігорович
МПК: C30B 11/02
Мітки: гарячої, стінки, отримання, методом, тонких, плівок, спосіб
Формула / Реферат:
Спосіб отримання тонких плівок РbТе методом гарячої стінки шляхом, нагріву підкладки до температури Тп=420-470 К, випаровуванні вихідної речовини РbТе при Тв=820 К, нагріві стінок камери до Тс=850 К, відрізняється тим, що вирощені плівки піддавалися ізохронному відпалу у вакуумі на протязі однієї години при температурі Тi=500 К.