Колесник Валерій Володимирович

Номер патенту: 112500

Опубліковано: 12.09.2016

Автори: Колесник Валерій Володимирович, Слюсар Денис Віталійович, Колесник Володимир Петрович

МПК: H01J 37/08, C23C 14/35

Мітки: покриттів, багатошарових, пристрій, багатокомпонентних, отримання

Формула / Реферат:

Пристрій для отримання багатокомпонентних, багатошарових покриттів, який містить магнітну систему, що є складовою частиною вакуумної камери, по осі якої розташований анод, коаксіально якому розташовані полюсні наконечники магнітної системи та електромагніти, катоди-мішені, виготовлені з компонентів, що становлять багатокомпонентне покриття, торцеві фланці, магнітопроводи, утримувачі деталей, який відрізняється тим, що корпус вакуумної...

Номер патенту: 105835

Опубліковано: 25.06.2014

Автори: Колесник Володимир Петрович, Колесник Валерій Володимирович, Ткаченко Володимир Андрійович

МПК: H01J 37/08, C23C 14/35

Мітки: покриттів, пристрій, отримання, багатокомпонентних, багатошарових

Формула / Реферат:

Пристрій для отримання багатокомпонентних багатошарових покриттів поверхонь деталей, що складається з вакуумної камери, катодів-мішеней, анода та магнітної системи, який відрізняється тим, що магнітна система є складовою частиною вакуумної камери, торцеві фланці якої виготовлені з магнітного матеріалу та з'єднані магнітопроводами, на яких розташовані електромагніти, при цьому по осі вакуумної камери розташований анод, коаксіально якому...