Слюсар Денис Віталійович

Номер патенту: 112500

Опубліковано: 12.09.2016

Автори: Слюсар Денис Віталійович, Колесник Валерій Володимирович, Колесник Володимир Петрович

МПК: C23C 14/35, H01J 37/08

Мітки: покриттів, пристрій, багатокомпонентних, отримання, багатошарових

Формула / Реферат:

Пристрій для отримання багатокомпонентних, багатошарових покриттів, який містить магнітну систему, що є складовою частиною вакуумної камери, по осі якої розташований анод, коаксіально якому розташовані полюсні наконечники магнітної системи та електромагніти, катоди-мішені, виготовлені з компонентів, що становлять багатокомпонентне покриття, торцеві фланці, магнітопроводи, утримувачі деталей, який відрізняється тим, що корпус вакуумної...