Колесник Володимир Петрович
Пристрій для отримання багатокомпонентних, багатошарових покриттів
Номер патенту: 112500
Опубліковано: 12.09.2016
Автори: Слюсар Денис Віталійович, Колесник Володимир Петрович, Колесник Валерій Володимирович
МПК: C23C 14/35, H01J 37/08
Мітки: отримання, багатокомпонентних, пристрій, багатошарових, покриттів
Формула / Реферат:
Пристрій для отримання багатокомпонентних, багатошарових покриттів, який містить магнітну систему, що є складовою частиною вакуумної камери, по осі якої розташований анод, коаксіально якому розташовані полюсні наконечники магнітної системи та електромагніти, катоди-мішені, виготовлені з компонентів, що становлять багатокомпонентне покриття, торцеві фланці, магнітопроводи, утримувачі деталей, який відрізняється тим, що корпус вакуумної...
Пристрій для отримання багатокомпонентних багатошарових покриттів
Номер патенту: 105835
Опубліковано: 25.06.2014
Автори: Колесник Володимир Петрович, Ткаченко Володимир Андрійович, Колесник Валерій Володимирович
МПК: H01J 37/08, C23C 14/35
Мітки: отримання, пристрій, покриттів, багатокомпонентних, багатошарових
Формула / Реферат:
Пристрій для отримання багатокомпонентних багатошарових покриттів поверхонь деталей, що складається з вакуумної камери, катодів-мішеней, анода та магнітної системи, який відрізняється тим, що магнітна система є складовою частиною вакуумної камери, торцеві фланці якої виготовлені з магнітного матеріалу та з'єднані магнітопроводами, на яких розташовані електромагніти, при цьому по осі вакуумної камери розташований анод, коаксіально якому...