Коломієць Віталій Ігорович
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі
Номер патенту: 95442
Опубліковано: 25.12.2014
Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Коломієць Віталій Ігорович
МПК: H01L 21/306
Мітки: плазмохімічного, закінчення, плазми, травлення, процесу, спосіб, моменту, мікроструктур, визначення, хлорвуглецевій
Формула / Реферат:
Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі, при якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових фільтрів на інформативне і фонове, за допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали порівнюють між собою і за...