Патенти з міткою «плазмохімічного»

Номер патенту: 95442

Опубліковано: 25.12.2014

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Коломієць Віталій Ігорович

МПК: H01L 21/306

Мітки: визначення, хлорвуглецевій, спосіб, плазмохімічного, мікроструктур, моменту, плазми, закінчення, травлення, процесу

Формула / Реферат:

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення мікроструктур в хлорвуглецевій плазмі, при якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових фільтрів на інформативне і фонове, за допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали порівнюють між собою і за...

Номер патенту: 87386

Опубліковано: 10.02.2014

Автори: Новосядлий Степан Петрович, Мельник Любомир Васильович, Кіндрат Тарас Петрович, Варварук Василь Миколайович

МПК: B81C 1/00

Мітки: спосіб, полікремнію, плазмохімічного, травлення

Формула / Реферат:

1. Спосіб плазмохімічного травлення полікремнію, що включає технологічні операції формування фотокопії: хімічну обробку підкладок в парах гексаметилдисалазану, нанесення плівок фоторезисту, його сушку і експонування, проявлення експонованих областей, задублення плівки резисту плазмохімічного травлення, який відрізняється тим, що процес травлення проводиться в суміші газів, в склад якої входить: травильний газ SF6, галогеновмістимий газ, який...

Номер патенту: 41790

Опубліковано: 10.06.2009

Автори: КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ, Каракулова Аліна Іванівна, Кравченко Сергій Юрійович

МПК: H01L 21/02

Мітки: плазмохімічного, напівпровідникових, травлення, спосіб, пластин

Формула / Реферат:

Спосіб плазмохімічного травлення напівпровідникових пластин, який полягає у тому, що травлення проводять у плазмі, яку утворюють електричним розрядом у вакуумній камері при постійному напусканні і відкачуванні робочого газу, а контроль моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення проводять за допомогою двох електричних зондів, які вводять в зону розряду, перший з яких розташовують біля напівпровідникової пластини зі сторони...

Номер патенту: 31519

Опубліковано: 10.04.2008

Автори: Дудник Дмитро Петрович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/302

Мітки: спосіб, закінчення, плазмохімічного, травлення, моменту, визначення, процесу

Формула / Реферат:

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, який включає розміщення підкладок у вакуумній камері, напуск робочого газу в процесі травлення, запалювання розряду, введення в зону розряду електричного зонда, відкачку продуктів реакції в процесі травлення, реєстрацію аналогового зондового сигналу, який відрізняється тим, що зареєстрований сигнал перетворюють в частотний, за зміною якого визначають момент закінчення...

Номер патенту: 26976

Опубліковано: 10.10.2007

Автори: Осадчук Володимир Степанович, Кравченко Сергій Юрійович, Осадчук Олександр Володимирович, КРАВЧЕНКО ЮРІЙ СТЕПАНОВИЧ

МПК: H01L 21/302

Мітки: спосіб, травлення, закінчення, визначення, плазмохімічного, моменту, процесу

Формула / Реферат:

Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного травлення, в якому власне оптичне випромінювання плазми розділяють за допомогою оптичних вузькосмугових фільтрів на інформативне і фонове, який відрізняється тим, що інформативне і фонове оптичне випромінювання за допомогою оптичних частотних перетворювачів перетворюють в електричні частотні сигнали, частота яких залежить від інтенсивності випромінювання, а самі частотні сигнали...

Номер патенту: 67968

Опубліковано: 15.07.2004

Автори: Скробач Ірина Ярославівна, Бережанський Володимир Михайлович, Новосядлий Степан Петрович

МПК: H01L 21/306

Мітки: полікремнію, плазмохімічного, спосіб, травлення

Формула / Реферат:

1. Спосіб плазмохімічного травлення полікремнію, що включає технологічні операції формування фотокопії: хімічну обробку підкладок в парах гексаметилдисалазану, нанесення плівки фоторезисту, його сушіння і експонування, проявлення заекспонованих областей, дублення плівки резисту, плазмохімічного травлення, який відрізняється тим, що процес травлення проводиться в суміші газів, до складу якої входять: травильний газ SF6, галогеновмісний газ,...

Номер патенту: 6260

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Плетньов Василь Максимович, Фареник Володимир Іванович, Будянський Олександр Михайлович, Покроєв Анатолій Георгійович

МПК: C23F 1/00

Мітки: плазмохімічного, пристрій, травлення, матеріалів

Формула / Реферат:

1. Устройство для плазмохимического травления материалов, включающее диэлектриче­скую реакционную камеру, перфорированный металлический экранирующий элемент, подложкодержатель с пластиной, размещенный внутри реак­ционной камеры, отверстия для напуска и откачки газа и индуктор для возбуждения ВЧ-разряда, витки которого охватывают реакционную камеру, отлича­ющееся тем, что, с целью увеличения скорости трав­ления и повышения качества обработки...

Номер патенту: 5773

Опубліковано: 29.12.1994

Автори: Лебедєв Едуард Олександрович, Гомжин Іван Васильович, Покроєв Анатолій Георгійович, Єфремов Олександр Миколайович, Будянський Олександр Михайлович

МПК: H01L 21/306

Мітки: плазмохімічного, спосіб, плівок, зняття, фоторезиста

Формула / Реферат:

Способ плазмохимического удаления пленок фоторезиста с образцов, имеющих диэлектриче­ские слои, включающий непрерывный напуск ра­бочего газа и откачку продуктов реакции, активацию рабочего газа плазмой ВЧ-разряда, от­деление зоны активации газа от зоны обработки образца, размещение образца в зоне обработки в потоке активированного разрядом газа и удаление полимерной фоторезистивной пленки под действи­ем химически активных частиц, отличающийся...