Корнієнко Ірина Борисівна
Спосіб нанесення покриттів із напівпровідникових сполук
Номер патенту: 39430
Опубліковано: 15.06.2004
Автори: Сергеєв Олег Тимофійович, Малєв Валерій Іванович, Яценко Олег Володимирович, Сергеєв Сергій Олегович, Панікарська Ольга Іванівна, Савченко Ян Олексійович, Корнієнко Ірина Борисівна, Немчин Олександр Федорович
МПК: C30B 23/02, C30B 25/06
Мітки: покриттів, нанесення, сполук, спосіб, напівпровідникових
Формула / Реферат:
1. Спосіб нанесення покриттів із напівпровідникових сполук шляхом розміщення випаровуваного компонента і виробу, що покривається, у вакуумній камері, їх нагрівання в умовах вакууму і наступного підвищення тиску, який відрізняється тим, що випаровуваний компонент напівпровідникової сполуки, який має рідку фазу, нагрівають в присутності компонента напівпровідникової сполуки, який має тверду фазу, при тискові 10-4 – 10-6 мм Hg до...