Коровін Олександр Вадимович
Поляризаційно-чутливий плазмон-поляритонний фотодетектор на основі бар’єра шотткі
Номер патенту: 103379
Опубліковано: 10.10.2013
Автори: Минько Віктор Іванович, Соснова Марія Вікторівна, Казанцева Зоя Іванівна, Коровін Олександр Вадимович, Мамикін Сергій Васильович, Дмитрук Микола Леонтійович
МПК: G01N 21/55
Мітки: бар'єра, поляризаційно-чутливий, фотодетектор, шотткі, плазмон-поляритонний, основі
Формула / Реферат:
Поляризаційно-чутливий плазмон-поляритонний фотодетектор на основі бар'єра Шотткі, який складається з поверхнево-бар'єрної гетеростуктури, а саме напівпровідникової підкладки, на яку нанесено шар металу, що має періодично-профільований рельєф на межі поділу метал/повітря у вигляді дифракційної ґратки, який відрізняється тим, що напівпровідникова підкладка є плоскою, а для формування періодично-профільованого рельєфу на межі поділу...