Минько Віктор Іванович

Номер патенту: 109582

Опубліковано: 10.09.2015

Автори: Індутний Іван Захарович, Гера Едуард Васильович, Шепелявий Петро Євгенович, Луканюк Марія Василівна, Минько Віктор Іванович, Крючин Андрій Андрійович, Бородін Юрій Олександрович, Данько Віктор Андрійович, Рубіш Василь Михайлович, Петров В'ячеслав Васильович

МПК: G11B 7/26

Мітки: оптично, спосіб, сигналограми, оригіналу, виготовлення

Формула / Реферат:

Спосіб виготовлення оригіналу оптичної сигналограми, що включає нанесення у вакуумі на дискову підкладку адгезійного шару і шару неорганічного фоторезисту на основі халькогенідного скла, його експонування модульованим гостросфокусованим лазерним пучком, і формування рельєфної структури шляхом селективного хімічного травлення фоторезисту, який відрізняється тим, що як неорганічний фоторезист на основі халькогенідного скла використовують шар...

Номер патенту: 100965

Опубліковано: 25.08.2015

Автори: Минько Віктор Іванович, Данько Віктор Андрійович, Луканюк Марія Василівна, Індутний Іван Захарович, Шепелявий Петро Євгенович

МПК: G03F 7/26, G03G 5/10, G03F 1/56 ...

Мітки: рельєфно-фазових, масок, формування, халькогенідних, спосіб, резистів, позитивних, шарах, періодичних, літографічних, структур

Формула / Реферат:

1. Спосіб формування літографічних масок та рельєфно-фазових періодичних структур на шарах халькогенідних резистів, який включає нанесення на підкладинку шару резисту з неорганічної халькогенідної сполуки, відпал резисту протягом 1-3 годин при температурі від Tg-5 до Tg-15 °C, де Tg - температура розм'якшення даного халькогеніду, експонування резисту випромінюванням спектрального складу, що відповідає міжзонному поглинанню халькогеніду,...

Номер патенту: 103379

Опубліковано: 10.10.2013

Автори: Минько Віктор Іванович, Казанцева Зоя Іванівна, Дмитрук Микола Леонтійович, Соснова Марія Вікторівна, Мамикін Сергій Васильович, Коровін Олександр Вадимович

МПК: G01N 21/55

Мітки: основі, шотткі, поляризаційно-чутливий, плазмон-поляритонний, бар'єра, фотодетектор

Формула / Реферат:

Поляризаційно-чутливий плазмон-поляритонний фотодетектор на основі бар'єра Шотткі, який складається з поверхнево-бар'єрної гетеростуктури, а саме напівпровідникової підкладки, на яку нанесено шар металу, що має періодично-профільований рельєф на межі поділу метал/повітря у вигляді дифракційної ґратки, який відрізняється тим, що напівпровідникова підкладка є плоскою, а для формування періодично-профільованого рельєфу на межі поділу...

Номер патенту: 99226

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: Минько Віктор Іванович, Данько Віктор Андрійович, Шепелявий Петро Євгенович, Індутний Іван Захарович

МПК: G03H 1/26, G03F 7/00, G03G 5/00 ...

Мітки: спосіб, фоторезистів, літографічних, структур, халькогенідних, рельєфно-фазових, періодичних, шарах, масок, формування

Формула / Реферат:

1. Спосіб формування літографічних масок та рельєфно-фазових періодичних структур на шарах халькогенідних фоторезистів, який включає нанесення на підкладинку шару фоторезисту з неорганічної халькогенідної сполуки, експонування фоторезисту випромінюванням спектрального складу, що відповідає міжзонному поглинанню халькогеніду, шляхом проектування на фоторезист зображення відповідного фотошаблона, чи інтерференційного поля, сформованого двома...

Номер патенту: 99200

Опубліковано: 25.07.2012

Автори: Данько Віктор Андрійович, Шепелявий Петро Євгенович, Минько Віктор Іванович, Індутний Іван Захарович

МПК: G03H 1/00, G03F 7/00, G03G 5/00 ...

Мітки: просторової, записі, періодичних, спосіб, частоти, рельєфно-фазових, структур, подвоєння

Формула / Реферат:

1. Спосіб подвоєння просторової частоти при записі рельєфно-фазових періодичних структур, який включає послідовне нанесення на підкладинку адгезивного шару, допоміжного шару та верхнього шару фоторезисту, формування з фоторезисту інтерференційної літографічної маски періодичної 1D конфігурації певної просторової частоти, селективне травлення через маску допоміжного шару до утворення "грибоподібної" форми поперечного перерізу...

Номер патенту: 87393

Опубліковано: 10.07.2009

Автори: Минько Віктор Іванович, Шепелявий Петро Євгенович, Індутний Іван Захарович

МПК: G03H 1/26, G03G 5/082, G03F 7/00 ...

Мітки: рельєфно-фазових, спосіб, структур, періодичних, запису

Формула / Реферат:

1. Спосіб запису рельєфно-фазових періодичних структур, що включає нанесення на підкладинку шляхом термічного осадження у вакуумі шару фоторезисту з неорганічної халькогенідної сполуки, експонування на фоторезист інтерференційного поля, сформованого двома когерентними світловими пучками в оптичному середовищі рефракційного елемента з показником заломлення n більше 1, і наступне селективне травлення фоторезисту, який відрізняється тим, що як...

Номер патенту: 39869

Опубліковано: 10.03.2009

Автори: Маєва Ольга Іванівна, Минько Віктор Іванович, Дмитрук Микола Леонтійович, Мамикін Сергій Васильович, Соснова Марія Вікторівна, Казанцева Зоя Іванівна

МПК: G01N 21/55

Мітки: етанолу, газових, сумішах, концентрації, визначення, домішок, плазмон-поляритонний, фотодетектор

Формула / Реферат:

1. Плазмон-поляритонний фотодетектор для визначення концентрації домішок в газових сумішах, що включає джерело р-поляризованого монохроматичного випромінювання і оптично пов'язаний з ним чутливий елемент, який складається з поверхнево-бар'єрної гетероструктури напівпровідник-золото з періодично-профільованою межею поділу у вигляді дифракційної ґратки і нанесеної на шар золота селективно-чутливої плівки, який відрізняється тим, що як...

Номер патенту: 33100

Опубліковано: 10.06.2008

Автори: Майданчук Іван Юрійович, Індутний Іван Захарович, Минько Віктор Іванович, Шепелявий Петро Євгенович, Данько Віктор Андрійович

МПК: H01L 21/265

Мітки: світловипромінювального, матеріалу, спосіб, одержання

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання світловипромінювального матеріалу на основі нанокомпозитних поруватих шарів Si-SiOx, який включає формування шару субоксиду кремнію SiOx (де х £ 2) шляхом осадження SiOx у вакуумі на підкладинку, орієнтовану під кутом 20-80° до напряму потоку осаджуваної речовини, і наступного термічного відпалу цього шару при температурі 400-1300 °С в атмосфері інертного газу чи у вакуумі, який відрізняється тим, що перед відпалом...

Номер патенту: 75793

Опубліковано: 15.05.2006

Автори: Майданчук Іван Юрійович, Індутний Іван Захарович, Минько Віктор Іванович, Шепелявий Петро Євгенович, Данько Віктор Андрійович

МПК: H01L 21/265

Мітки: основі, кремнію, одержання, світловипромінювального, спосіб, матеріалу

Формула / Реферат:

1. Спосіб одержання світловипромінювального матеріалу на основі кремнію, який включає осадження в вакуумі на підкладку шару субоксиду кремнію SiOx, де х менше 2 і наступного термічного відпалу цього шару при підвищеній температурі в атмосфері інертного газу або у вакуумі, який відрізняється тим, що під час осадження шару SiOx підкладку орієнтують під кутом від 20 до 80 градусів між нормаллю до підкладки і напрямком потоку осаджуваної...

Номер патенту: 37749

Опубліковано: 15.05.2001

Автори: Індутний Іван Захарович, Минько Віктор Іванович

МПК: G03F 7/00, G03H 1/26, G03G 5/082 ...

Мітки: запису, голограм, райдужних, спосіб, рельєфно-фазових

Текст:

...при якому відновлення допоміжної голограми здійснюється в пропущеному хвильовому полі. Але в деяких випадках шар неор ганічного резисту суттєво поглинає лазерне випромінювання, що призводить до значного зменшення яскравості дійсного зображення, відновленого з допоміжної голограми. Це значно ускладнює або ж навіть робить неможливим другу стадію запис райдужної голограми. Підвищити дифракційну ефективність допоміжної голограми в цьому випадку...