Кошик Леонід Іванович
Спосіб одержання наночастинок системи метал-кисень із заданим складом електронно-променевим випаровуванням і конденсацією у вакуумі
Номер патенту: 64934
Опубліковано: 25.11.2011
Автори: Пилипенко Олександр Якимович, Кошик Леонід Іванович
МПК: C23C 14/06, C23C 14/32, C23C 14/24 ...
Мітки: електронно-променевим, випаровуванням, метал-кисень, системі, вакуумі, складом, наночастинок, конденсацією, одержання, спосіб, заданим
Формула / Реферат:
1. Спосіб одержання наночастинок систем метал-кисень із заданим складом електронно-променевим випаровуванням і конденсацією у вакуумній камері, який включає нагрівання та випаровування у вакуумі твердого вихідного матеріалу з групи, що включає метали або їхні сплави, і твердого матеріалу носія із щонайменше двох окремих ємностей, підтримання температури підкладки, здійснення дозованої подачі кисню або кисневмісних газів або парів або їхніх...