Пилипенко Олександр Якимович
Спосіб одержання наночастинок системи метал-кисень із заданим складом електронно-променевим випаровуванням і конденсацією у вакуумі
Номер патенту: 64934
Опубліковано: 25.11.2011
Автори: Пилипенко Олександр Якимович, Кошик Леонід Іванович
МПК: C23C 14/24, C23C 14/06, C23C 14/32 ...
Мітки: вакуумі, випаровуванням, одержання, конденсацією, системі, електронно-променевим, складом, наночастинок, спосіб, заданим, метал-кисень
Формула / Реферат:
1. Спосіб одержання наночастинок систем метал-кисень із заданим складом електронно-променевим випаровуванням і конденсацією у вакуумній камері, який включає нагрівання та випаровування у вакуумі твердого вихідного матеріалу з групи, що включає метали або їхні сплави, і твердого матеріалу носія із щонайменше двох окремих ємностей, підтримання температури підкладки, здійснення дозованої подачі кисню або кисневмісних газів або парів або їхніх...