Коваленко Костянтин Леонідович

Номер патенту: 7273

Опубліковано: 15.06.2005

Автори: Коваленко Костянтин Леонідович, ШАРАН МИКОЛА МИКОЛАЙОВИЧ, Маєвська Тетяна Вікторівна

МПК: G01L 9/04

Мітки: тиску, інтегральній, перетворювач

Формула / Реферат:

Інтегральний перетворювач тиску, що містить виконану як одне ціле з оправою профільовану з однієї сторони кремнієву мембрану з жорсткою центральною частиною у вигляді острівця, а також тензоелемент, розміщений на планарній стороні мембрани, проти долини, що відділяє оправу мембрани від острівця, мембрана орієнтована в кристалографічній площині (100) і дзеркально симетрична відносно кожної з двох площин ряду [110], що проходять через центр...

Номер патенту: 49817

Опубліковано: 15.10.2002

Автори: Чечель Віктор Володимирович, Коваленко Костянтин Леонідович, Зінченко Едуард Олексійович, ШАРАН МИКОЛА МИКОЛАЙОВИЧ, Косенко Микола Анатолійович, Козловський Сергій Іванович, Бабічев Геннадій Григорович, Романов Валентин Олександрович

МПК: H04R 19/00

Мітки: мікрофона, капсул, конденсаторного

Формула / Реферат:

1. Капсуль конденсаторного мікрофона, який містить рухомий кремнієвий електрод та відділений від нього повітряним проміжком нерухомий електрод з сформованими у ньому акустичними отворами, при цьому ширина повітряного проміжку задається товщиною шару діоксиду кремнію, розміщеного між електродами, який відрізняється тим, що нерухомий електрод виконаний у вигляді пластини, що містить принаймні одну композитну плівку, сформовану з ізолюючого та...