Маєвська Тетяна Вікторівна

Номер патенту: 7273

Опубліковано: 15.06.2005

Автори: Коваленко Костянтин Леонідович, ШАРАН МИКОЛА МИКОЛАЙОВИЧ, Маєвська Тетяна Вікторівна

МПК: G01L 9/04

Мітки: тиску, інтегральній, перетворювач

Формула / Реферат:

Інтегральний перетворювач тиску, що містить виконану як одне ціле з оправою профільовану з однієї сторони кремнієву мембрану з жорсткою центральною частиною у вигляді острівця, а також тензоелемент, розміщений на планарній стороні мембрани, проти долини, що відділяє оправу мембрани від острівця, мембрана орієнтована в кристалографічній площині (100) і дзеркально симетрична відносно кожної з двох площин ряду [110], що проходять через центр...