Ковтун Володимир Васильович
Спосіб іонно-плазмового напилювання (варіанти) та пристрій для його здійснення (варіанти)
Номер патенту: 83263
Опубліковано: 25.06.2008
Автори: Коваленко Валентина Володимирівна, Ковтун Володимир Васильович, Калінушкін Євген Павлович
МПК: C23C 14/34, C23C 14/35, C23C 14/22 ...
Мітки: спосіб, напилювання, пристрій, варіанти, іонно-плазмового, здійснення
Формула / Реферат:
1.Спосіб іонно-плазмового напилювання з одержанням плівок зносостійких і функціональних матеріалів, який включає застосування у робочій камері катода, анода, магнітної системи з охолодженням, розпилення матеріалу катода за рахунок бомбардування його атомами газів або їх сумішшю, який відрізняється тим, що катоду-мішені додають додаткову енергію у розрахунку на атом речовини згідно з формулою: (0,1-1,1)·k·Тпл, де Тпл -...