Козерацька Галина Миколаївна
Cпосіб одержання тонких плівок, які самі підтримуються
Номер патенту: 9841
Опубліковано: 30.09.1996
Автори: Матвєєва Людмила Олександрівна, Зорнік Валентина Григорівна, Козерацька Галина Миколаївна
МПК: C23C 14/24, C23C 14/00
Мітки: cпосіб, самі, плівок, тонких, одержання, підтримуються
Формула / Реферат:
1. Способ получения тонких самоподдерживающихся пленок для ядерно-физических исследований из, группы бериллия, или кремния, или германия, или марганцам, или эрбия, или висмута, включающий химическую очистку стеклянной подложки, осаждение на подложку термическим испарением в вакууме слоя хлористого натрия и пленки заданного материала, отделение пленки от подложки, отличающийся тем, что перед осаждением слоя хлористого натрия осуществляют...