Зорнік Валентина Григорівна

Cпосіб одержання тонких плівок, які самі підтримуються

Завантаження...

Номер патенту: 9841

Опубліковано: 30.09.1996

Автори: Козерацька Галина Миколаївна, Зорнік Валентина Григорівна, Матвєєва Людмила Олександрівна

МПК: C23C 14/24, C23C 14/00

Мітки: плівок, тонких, самі, cпосіб, підтримуються, одержання

Формула / Реферат:

1. Способ получения тонких самоподдерживающихся пленок для ядерно-физических исследований из, группы бериллия, или кремния, или германия, или марганцам, или эрбия, или висмута, включающий химическую очистку стеклянной подложки, осаждение на подложку термическим испарением в вакууме слоя хлористого натрия и пленки заданного материала, отделение пленки от подложки, отличающийся тем, что перед осаждением слоя хлористого натрия осуществляют...