Cпосіб одержання тонких плівок, які самі підтримуються

1. Способ получения тонких са мопод держивающихся пленок для ядерно-физи ческих исследований из, группы бериллия, или кремния, или германия, или марганцам, или эрбия, или висмута, включающий хими ческую очистку стеклянной подложки, осажде ние на подлож к у те рмиче ск им испарением в вакууме слоя хлористого натрия и пленки заданного материала, отделение пленки от подложки, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что перед осаждением слоя хлористого натрия осуществляют очистку подложк и в т ле ю ще м ра з ря де , испа ре ние заданного материала осуществляют в импульсном режиме при температуре испари-• теля 1923-2100 К, 1850-1900 К, 1600-1650 К, 1325-1550 К, 1803-1833 К, 820-930 К для указанных материалов соответственно, при этом длительность импульсов и промежуток между ними поддерживают равными 3-4 с и 8-Ю с, 8-Ю с и 20-25 с, 5-6 с, и 2-5 с, 1-2 с и 5-6 с, 3-4 с и 6-8 с, 3-4 с и 8-10 с для указанных материалов соответственно, а осаждение пленок осуществляют для указанных материалов соотве тстве нно со ск оростью в 2 мк г/см с: 2,0-9,57; 2, 0-3,78; 14,0-29, 05; 8, 016,33; 3,0-3,86; 10-22,3. 2. Способ по п. 1,о т л и ч а ю щ и й с я тем, что очистку в тлеющем разряде осуще1 ствляют в вакууме (1,33-2,66) • 10" Па при напряжении 1-3 кВ в течение 3-5 мин. Изобре тение относится к технологии получения тонких пленок термическим испарением в вакууме и может быть использова но при из г от ов ле нии ми ше не й, предназначенных для ядерно-физических исследований. Известен способ получения тонких самоподдерживающихся пленок бериллия, которы й о снова н на не пре рывно м термическом осаждении пленки на стеклянную подложку, предварительно покрытую тонким слоем калийного мыла, с последующим растворением калийного мыла в воде. Осаждение бериллиевой пленки производится из источника, разогретого электрон3 4 ным лучом в вакууме 1,33 • 10" ... 1,3 • W" Па сначала через диафрагму с отверстием 17 мм до толщины 0,2...0,3 мкм, затем через диафрагму с отверстием 10 мм до требуемой толщины. Пле нки получаются доста точно толстыми (1.8...3 мкм), в них отсутствует эффект скручивания за счет снижения темпе С> оо О 9841 ратуры подложки при экранировании диафрагмами Использование стеклянной подложки и отделение ее от пленки в воде делает способ экономически выгодным, т.к. имеется возможность многократного ис- 5 пользования одной и той же подложки при получении пленок-мишеней. Способ относительно простой [1]. Недостатком способа является недостаточная чистота пленок вследствие загрязне- 10 ния их калием и неоднородность распределения калия по толщине, что препятствует проведению лрецезионных ядернофизических исследований, связанных с определением абсолютных сечений ядер- 15 ных реакций при низких и средних энергиях легких ионов на ядрах с z