Лінник Олексій Іванович
Спосіб отримання масиву квантових точок типу “ядро-оболонка” на основі нітриду нікелю
Номер патенту: 100623
Опубліковано: 10.08.2015
Автори: Прудніков Анатолій Михайлович, Лінник Олексій Іванович, Линнік Тетяна Олексіївна
МПК: C23C 14/54, C23C 14/28
Мітки: отримання, квантових, спосіб, ядро-оболонка, основі, типу, масиву, нікелю, нітриду, точок
Формула / Реферат:
1. Спосіб отримання масиву квантових точок типу "ядро-оболонка" на основі нітриду нікелю за допомогою розпилювання мішені в планарному магнетроні постійного струму малої потужності (до 20 Вт), який відрізняється тим, що згаданий масив формується в одностадійному процесі розпилювання нікелевої мішені на підкладку в атмосфері буферного газу, який являє собою суміш аргону і азоту.2. Спосіб за п. 1, який відрізняється тим, що...