Ловцюс Андрєй Альгєрдовіч
Спосіб одержання полікристалічного кремнію
Номер патенту: 102244
Опубліковано: 25.06.2013
Автор: Ловцюс Андрєй Альгєрдовіч
МПК: C01B 33/035
Мітки: кремнію, спосіб, полікристалічного, одержання
Формула / Реферат:
1. Спосіб одержання полікристалічного кремнію осадженням з газової фази, що включає подачу в реактор, відновлення через систему патрубків газової суміші на основі газу, що містить кремній і осадження кремнію на нагрітих поверхнях з утворенням газової суміші, що відходить, який відрізняється тим, що процес осадження кремнію здійснюють одночасно в принаймні двох реакторах, які з'єднують між собою послідовно системою патрубків для...