Лямін Євгеній Олександрович
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок
Номер патенту: 93969
Опубліковано: 27.10.2014
Автори: Хорошайло Юрій Євгенійович, Лямін Євгеній Олександрович, Міняйло Олександр Дмитрович, Світличний Віталій Анатольевич
МПК: G01N 22/00, G01N 27/90
Мітки: плівок, тонких, двопараметровий, контролю, спосіб, якості
Формула / Реферат:
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок, який включає одночасне визначення електропровідності і товщини тонких плівок за допомогою електромагнітного випромінювання НВЧ діапазону, який відрізняється тим, що визначення електропровідності і товщини здійснюють для тонких неферомагнітних плівок, причому для виміру електропровідності, необхідно як перетворювач використовувати циліндричний резонатор НВЧ, у якому вимірювальний отвір...