Міняйло Олександр Дмитрович
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок
Номер патенту: 93969
Опубліковано: 27.10.2014
Автори: Світличний Віталій Анатольевич, Хорошайло Юрій Євгенійович, Міняйло Олександр Дмитрович, Лямін Євгеній Олександрович
МПК: G01N 27/90, G01N 22/00
Мітки: контролю, двопараметровий, тонких, спосіб, плівок, якості
Формула / Реферат:
Двопараметровий спосіб контролю якості тонких плівок, який включає одночасне визначення електропровідності і товщини тонких плівок за допомогою електромагнітного випромінювання НВЧ діапазону, який відрізняється тим, що визначення електропровідності і товщини здійснюють для тонких неферомагнітних плівок, причому для виміру електропровідності, необхідно як перетворювач використовувати циліндричний резонатор НВЧ, у якому вимірювальний отвір...